概述带组合式压电/皮拉尼传感器的VSR真空变送器：
测量范围广：得益于Piezo / Pirani组合传感器
精确：粗真空和精真空范围内的高精度和分辨率
可靠：出色的重现性和长期稳定性
快速：响应时间短，高达40毫秒
受到良好保护的：集成式金属盖可防止机油或溶剂蒸气等污染
稳定：稳定的测量值归功于优化的温度补偿
气体类型无关：20 mbar以上的气体类型无关测量和用于皮拉尼传感器的可调气体类型校正系数
概述Smartline真空变送器：
大量的接口选择：数字RS485接口加上0-10 V输出信号，EtherCAT或Profinet。此外，蓝牙适配器SLKBT支持无线通信
可更换的传感器头：带有存储的校准数据的可轻松更换的更换传感器头
可选显示器：大型LCD显示器（EtherCAT，Profinet除外）
调节简单：只需按一下按钮或通过界面即可调节零压力和大气压
LED：用于状态显示和切换点
可扩展的输出特性：0-10 V输出信号可以根据所需的特性进行缩放。
因此，与制造商无关，可以轻松地进行现有真空规的更换，而无需进行编程工作。
如果要保留电缆但要更换变送器，则可以使用适配器（例如FCC68）。
适用于超高压：由于采用金属密封的不锈钢测量元件，适用于超高压（氦气泄漏率<5e-10 mbar l / s）
继电器开关点：两个独立的无电势继电器开关点（EtherCAT，Profinet除外）
坚固：耐腐蚀，符合EMC标准的金属外壳，防护等级高达IP54
控制器：可以通过2通道控制器VD12或4通道控制器VD14进行扩展
VacuGraphTM Windows软件：用于可视化，分析和存储测量数据
| 测量原理 | 压阻式/导热性Pirani |
| 气体类型依赖性 | 取决于气体类型，与气体类型无关（压电） |
| 测量范围毫巴 | 1200-1e-4毫巴(1200-0.0001mbar) |
| 测量范围托 | 900-1e-4托 |
| 过载 | 4个吸收 |
| 准确性 | 1200-40毫巴：0.3％fs | 40-2e-3毫巴：fr的10％ |
| 重复性 | 1200-40毫巴：0.1％fs | 40-1e-2毫巴：2％fr |
| 真空接触材料 | 不锈钢1.4307，钨，镍，玻璃，金，氧化硅 |
| 反应时间 | 40毫秒 |
| 工作温度 | + 5 ... + 60°C |
| 储存温度 | -40 ... + 65°C |
| 烘烤温度 | 法兰上150°C（关闭电源） |
| 电源供应 | 20至30 VDC |
| 能量消耗 | 2.5 W，对于EtherCAT /继电器/ LCD为0.8 W，另外为Profinet为1.6 W |
| 输出信号SL | 0-10 VDC，最小10kΩ，测量范围1.5-8.58 VDC，对数 除了EtherCAT，Profinet |
| 串列介面 | EtherCAT，Profinet，RS485：9.6 kBd至115 kBd，8个数据位，1个停止位，无奇偶校验EtherCAT，Profinet |
| 切换输出 | 2个继电器，无电势，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外 |
| 电气连接 | RS485 / EtherCAT / Profinet：1x M12 A / 2x M12 D母头，SubD 15针，公头 |
| 真空连接 | DN 16 ISO-KF（VSR53），DN 16 CF-F（VSR54） |
| 方面 | 99 x 69 x 48毫米（VSR53） |
| 防护等级 | IP40，IP54，带配套连接器XB15SL05 |
| 重量 | 195克（VSR53D） |
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